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高純氦氣檢漏問(wèn)題大
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高純氦氣檢漏問(wèn)題大，高純氦氣檢漏就是利用了高純氦氣分子小能夠輕易進(jìn)入那些不被肉眼察覺(jué)的孔縫中，利用監(jiān)測(cè)儀器就能探測(cè)到孔縫中泄露出的高純氦氣。檢測(cè)時(shí)首先探測(cè)到高純氦氣的露點(diǎn)，得到高純氦氣的水含量，再利用色譜儀計(jì)算出氫氣、氧氣、C02氣體等雜質(zhì)。氦檢漏有兩種工藝，一種是背壓法，另一種則是真空箱法。
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